本文摘要：中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所分担的课题双腔实时仅有烧结激光电源及输入能量平稳系统研究通过了国家科技根本性专项实行管理办公室的竣工验收。该课题顺利为MOPA结构的准分子激光器获取较低晃动仅有烧结的高脉冲慢静电电源，并构建了通过对系统控制系统构建激光输入能量平稳。 该课题的顺利竣工验收为光刻机的零部件国产化打下基础，具备根本性的必要经济效益和社会效益。

中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所分担的课题双腔实时仅有烧结激光电源及输入能量平稳系统研究通过了国家科技根本性专项实行管理办公室的竣工验收。该课题顺利为MOPA结构的准分子激光器获取较低晃动仅有烧结的高脉冲慢静电电源，并构建了通过对系统控制系统构建激光输入能量平稳。

该课题的顺利竣工验收为光刻机的零部件国产化打下基础，具备根本性的必要经济效益和社会效益。　　双腔实时仅有烧结激光电源及输入能量平稳系统研究是国家科技根本性专项近于大规模集成电路生产装备及成套工艺（02根本性专项）的子课题之一。该课题研究突破的全固态脉冲鼓舞技术、MOPA结构电源同步控制技术和能量平稳控制技术等，是曝光光源的核心关键技术，这些技术的掌控不利于我国光刻机研制获得突破，以及取得涉及半导体生产设备的自律知识产权。课题组多次参予项目总体单位光电研究院的组织的整机联机试验，与分段课题互相承托检验、交会较好，研制的电源系统与激光静电腔、线宽力较宽模块、光学器件等光源系统部件牵头构建已完成20W4kHzArF曝光光源系统，整机测试总体超过了技术指标，电源系统测试也超过了任务书拒绝指标。

　　值得注意的是，光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，生产和确保必须高度的光学和电子工业基础，世界上只有少数厂家掌控。因此光刻机价格昂贵，一般来说在3000至5000万美元（据维基百科）。曝光光源作为光刻机的核心部件，在半导体装备研制中起着最重要起到，因此，该课题的竣工验收具备必要的经济效益和社会效益。

　　同时，作为滑动反对，02根本性专项2013年1月月启动二期项目40W4kHzArF曝光光源产品开发，合肥研究院安光所之后分担了二期课题高重频脉冲泵浦电源的研发。

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